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紅外氣體傳感器
Gasboard-2060
紅外氣體傳感器是由四方儀器自主研發的高性能氣體傳感器，產品基于非分光紅外技術(NDIR),能夠精確測量半導體等應用中產生的SiF4、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體,兼容機臺內常見預留尺寸、法蘭和通訊協議，可用于半導體沉積和清洗工藝的端點檢測、腔室清理終端檢測,能夠減少清潔時間,節約成本,提高產量。
產品特性
    • 使用NDIR技術，多氣體監測支持(SiF4、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體)
    • 響應時間快，高靈敏度
    • 無耗材
    • 模擬/數字通信
    • 模塊化設計，便于集成

應用領域
    用于半導體行業薄膜沉積設備腔室清潔終點檢測。
技術參數
檢測原理 NDIR
檢測氣體 SiF4、CF4、SF6、NF3、CO2
量程 1~264ppm(0~200mTorr)
重復性 ±0.5%
線性 ±1%F.S.
檢測限 1ppm

*具體參數請以規格書為準，如需獲取更多技術信息，請聯系：027-81628829或info@gasanalyzer.com.cn
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